日本HORIBA堀場質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z500：半導(dǎo)體制程中的精密流控核心

2025-08-22 17:54

HORIBA SEC-Z500 系列質(zhì)量流量計(jì)是專為芯片級半導(dǎo)體制程工藝而設(shè)計(jì)的高性能流量測量與控制設(shè)備。其設(shè)計(jì)高度集成溫度補(bǔ)償、數(shù)字校準(zhǔn)、內(nèi)部結(jié)構(gòu)優(yōu)化和高靈敏度傳感器等先進(jìn)技術(shù)，滿足芯片制造領(lǐng)域?qū)α髁靠刂品€(wěn)定性、響應(yīng)速度和系統(tǒng)一致性的嚴(yán)苛要求。

專為芯片級制程打造的高精度流量控制平臺(tái)

在現(xiàn)代半導(dǎo)體工藝中，工藝氣體流量的控制精度直接影響成品良率與工藝一致性。SEC-Z500 系列在流量測量與調(diào)控方面做出系統(tǒng)級優(yōu)化：

  • 傳感器系統(tǒng)采用內(nèi)置溫度補(bǔ)償電路，顯著降低由于摩爾比熱差異造成的誤差；

  • 通過多項(xiàng)式數(shù)學(xué)建模對氣體流量進(jìn)行精細(xì)修正，確保輸出與設(shè)定流量高度一致；

  • 支持通過Data Server更新傳感器參數(shù)庫，持續(xù)提升測量精度與運(yùn)行穩(wěn)定性；

  • 對N?與實(shí)際工藝氣體的特性進(jìn)行數(shù)據(jù)庫歸檔，進(jìn)一步優(yōu)化輸出線性與響應(yīng)動(dòng)態(tài)。

流路與旁路結(jié)構(gòu)全面升級，縮小理論與實(shí)際差距

為解決流量控制中“理論設(shè)定值與實(shí)際輸出值”的偏差問題，SEC-Z500從微觀結(jié)構(gòu)層面進(jìn)行了深度優(yōu)化：

  • 旁路模塊（Bypass） 采用高精密加工技術(shù)，并通過與不同規(guī)格傳感器精密匹配，實(shí)現(xiàn)流量比固定與一致化；

  • 流路系統(tǒng)（Flow Path） 經(jīng)鏡面級內(nèi)部表面拋光處理，最大程度減少流動(dòng)阻力與氣體附著，降低響應(yīng)偏差；

  • 內(nèi)置PIEZO壓電閥門，結(jié)構(gòu)簡單、無額外熱源干擾，在動(dòng)態(tài)流控過程中具備出色的穩(wěn)定性與重復(fù)性。

數(shù)字化PCB控制架構(gòu)，適配高標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)場景

SEC-Z500 系列在控制電路方面，采用了高度集成化的數(shù)字控制板卡：

  • 實(shí)現(xiàn)全數(shù)字化調(diào)節(jié)與校準(zhǔn)，減少因機(jī)械部件老化或誤差帶來的不確定性；

  • 精簡電位器數(shù)量，消除回差（Backlash）帶來的誤動(dòng)作風(fēng)險(xiǎn)；

  • 配套校準(zhǔn)工具支持MolBlock法定量調(diào)流校準(zhǔn)，確保高精度輸出的同時(shí)優(yōu)化運(yùn)維效率。

SEC-Z500與SEC-N100協(xié)同覆蓋芯片與非芯片工藝

在HORIBA產(chǎn)品體系中，SEC-Z500 專注于芯片級半導(dǎo)體制程，而SEC-N100 則專為 非芯片半導(dǎo)體工藝場景定制。兩者相輔相成，覆蓋了當(dāng)前半導(dǎo)體工藝體系中幾乎所有氣體流量控制需求。無論是超潔凈制程環(huán)境下的精密控制，還是功能玻璃、光伏、電池材料等非芯片行業(yè)的多氣體調(diào)節(jié)，HORIBA的流控系統(tǒng)均提供一致化的接口標(biāo)準(zhǔn)與控制精度。

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