HORIBA晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器GR-511F介紹
2025-11-04 08:00
HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器
上海進佳科學儀器有限公司長期以來專注于為高科技行業(yè)提供流量控制與過程連接解決方案。今天，我們將介紹HORIBA GR-511F壓力控制器，這款產(chǎn)品在晶圓冷卻系統(tǒng)中扮演著至關重要的角色。它的穩(wěn)定性和精度使其成為控制晶圓冷卻系統(tǒng)中氦氣和氬氣流量的優(yōu)選。
核心功能與技術(shù)參數(shù)
HORIBA GR-511F壓力控制器設計用于控制靜電卡盤系統(tǒng)中晶片背面的氣體流動。其穩(wěn)定的壓力控制能力確保了氣體流量的精確調(diào)節(jié)，從而優(yōu)化晶圓冷卻效果。該產(chǎn)品的核心功能包括：
- 壓力控制更穩(wěn)定、更精確：通過的技術(shù)保障壓力控制的高精度與高穩(wěn)定性。
- 質(zhì)量流量傳感器（可選）：客戶可根據(jù)需求選擇搭載質(zhì)量流量傳感器，以實現(xiàn)更高精度的流量控制。
- 兼容各種配件：該壓力控制器支持多種配件的連接，滿足不同系統(tǒng)的需求。
- 符合RoHS標準：產(chǎn)品符合環(huán)保要求，確保在使用過程中對環(huán)境的影響最小。
典型應用場景
HORIBA GR-511F壓力控制器廣泛應用于半導體制造過程中的晶圓背面冷卻系統(tǒng)。其精確的流量控制能力適用于需要高穩(wěn)定性和精度的場合，例如：
- 半導體晶圓制造：在晶圓制造過程中，精確控制氦氣和氬氣流量可以提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
- 光纖制造：在光纖生產(chǎn)中，穩(wěn)定的冷卻系統(tǒng)對產(chǎn)品質(zhì)量至關重要。
- LED生產(chǎn)：同樣需要精密的氣體流量控制，以確保產(chǎn)品的一致性。
優(yōu)勢亮點總結(jié)
HORIBA GR-511F壓力控制器以其的性能和穩(wěn)定性贏得了眾多客戶的信任。其主要優(yōu)勢在于：
- 精確的流量控制：確保生產(chǎn)過程中的質(zhì)量和效率。
- 廣泛的應用兼容性：適用于多種高科技制造領域。
- 環(huán)保設計：符合RoHS標準，確保環(huán)境友好。
關于上海進佳科學儀器有限公司
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