日本HORIBA堀場數字式液體質量流量計LF/LV的基本參數
隨著半導體器件快速一體化的發展，半導體生產過程中的液體流量需求不斷增大，新的材料也被引入300nm晶圓制程以確保產品性能。在此背景下，HORIBA STEC 作為該領域的佼佼者，提供了一整套液體源汽化控制系統，通過加熱、直接注入和混合注入等多種方式，確保將氣體平穩有效地傳送到反應室。自動供液系統能不間斷地安全可靠地傳輸液體，從而提高工作效率，同時有效降低了操作員的手動操作和制程污染風險。
一、日本HORIBA堀場數字式液體質量流量計LF/LV的基本參數
HORIBA的數字式液體質量流量計LF-F和LV-F在這一領域中表現出色。LF-F是一款具備冷卻測試方式的液體質量流量計，能夠精確檢測低沸點和高粘度液體的流量。其儀器內部進行了超潔凈處理，并符合RoHS環境標準，確保了超低微小流量檢測的準確性。LF-F的抗壓性高達10MPa，這使其在高壓環境下依然能夠穩定運行，體現出其卓越的性能。
另一方面，LV-F是一款具備冷卻測試方式的流量傳感器，能夠精確控制低沸點和高粘度液體的流量。與LF-F類似，LV-F也進行了超潔凈處理并符合RoHS環境標準，確保其在操作過程中不會產生污染。LV-F的抗壓性為1MPa，雖然不及LF-F，但在一般的半導體生產環境中已足夠應對。LV-F提供超低微小流量控制，使得其在精細的流量調節需求下表現尤為突出。
這兩款流量計和傳感器的設計理念與半導體生產的嚴苛要求相契合，能夠在保證高精度和高穩定性的同時，減少人為操作的誤差和污染風險。HORIBA堀場在液體質量流量計領域的創新，不僅提高了生產效率，還推動了半導體行業的技術進步。這些先進的儀器設備，通過細致入微的設計和高標準的制造工藝，確保了在嚴苛的生產條件下，依然能夠保持穩定和可靠的運行。通過應用這些高性能的流量計，半導體生產商能夠更好地控制生產過程，提高產品質量，從而在競爭激烈的市場中占據有利地位。
二、上海進佳科學儀器有限公司介紹
上海進佳科學儀器有限公司位于上海浦東，為電子半導體、光纖及生物制藥等科技行業提供流量控制和過程連接的專業解決方案。依托專業技術和優質服務，本公司在行業中獲得了良好聲譽和廣泛認可。公司與國際原廠供應商建立了長期的戰略合作伙伴關系。
多家儀器儀表制造商已授予我們官方代理經銷商的資格。代理品牌包括DWYER德威爾、HORIBA堀場、KING、FilterSense費爾升、Galltec+mela蓋加美、Valex威萊克、OMEGA奧米佳、degreeC、HONTZSCH虹啟、TKF富士金、YAMATO雅馬拓、Superlok等。我們的產品范圍包括質量流量計、卡套接頭、閥門、風速計、滅菌器、干燥箱、恒溫水槽及其他實驗室設備。憑借豐富的行業經驗和完善的產品線，滿足客戶在不同應用場景下的多樣化需求，并為其研發生產提供堅實的后盾。
進佳科學儀器堅守“專業、創新、服務”的經營理念，不斷追求技術進步和服務提升，提供高品質產品和全面解決方案，助力客戶提高生產和研發的效率與可靠性。我們期待與更多的行業伙伴攜手合作，共創美好未來。
三、上海進佳科學儀器有限公司優勢
1、國際品牌授權代理商
上海進佳科學儀器是HORIBA、DWYER、TK、Galltec+mela等多個國際品牌的授權代理商，提供的每個產品都是正品，品質有保障。
2、誠信的經營理念
自始至終，本公司都秉承“誠信、務實、求精、創新”的價值觀，這使得我們在市場上建立了牢固的信任關系。
3、全天無休的客戶服務
我們的銷售與技術人員全天待命，確保快速響應與支持。
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