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HORIBA QL系列微孔系統(tǒng) 簡(jiǎn)介

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品品牌

HORIBA堀場(chǎng)

產(chǎn)品類(lèi)型

質(zhì)量流量計(jì)/控制器

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完善

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

四極桿質(zhì)量分析儀 MICROPOLE系統(tǒng)是最小的質(zhì)譜儀系統(tǒng)之一，易于安裝。該系統(tǒng)已被證明是許多腔室表征應(yīng)用的理想解決方案。緊湊的尺寸是通過(guò)四極桿質(zhì)量過(guò)濾器微型陣列的專(zhuān)利設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)的。該系統(tǒng)能夠在比傳統(tǒng)系統(tǒng)高得多的壓力下運(yùn)行，因此減少了對(duì)額外差動(dòng)泵送設(shè)備的需求。

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng) 詳情介紹

體積極其緊湊，重量輕盈
與傳統(tǒng)的殘余氣體分析儀相比，其尺寸為1/20，易于集成到任何系統(tǒng)中
高性能
9個(gè)四極桿的迷你陣列以傳統(tǒng)四極桿體積的一小部分提供了出色的靈敏度
高壓操作
可在高達(dá)0.9Pa（7mTorr，9 x 10-3mbar）的壓力下使用，從而減少或消除了許多應(yīng)用中昂貴的真空泵
校準(zhǔn)中的可互換傳感器頭
傳感器頭在裝運(yùn)前經(jīng)過(guò)預(yù)調(diào)和校準(zhǔn)，使用戶(hù)無(wú)需微調(diào)或技術(shù)專(zhuān)長(zhǎng)即可在現(xiàn)場(chǎng)更改傳感器
網(wǎng)絡(luò)傳感器
一臺(tái)PC可以使用RS-485監(jiān)控多達(dá)八個(gè)傳感器。也可以通過(guò)外部I/O進(jìn)行無(wú)PC掃描操作。
用戶(hù)友好型軟件
Micropole Scanner™2軟件允許用戶(hù)以各種模式監(jiān)測(cè)氣體的分壓，例如趨勢(shì)圖、光譜圖、條形圖。

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)產(chǎn)品規(guī)格

HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)參數(shù)

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