HORIBA晶圓背面冷卻系統壓力控制器GR-312介紹

2025-11-05 08:00

HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統壓力控制器GR-312

上海進佳科學儀器有限公司位于上海浦東新區，致力于為高科技行業提供流量控制與過程連接解決方案。公司與國際知名品牌如美國KING、Dwyer、日本HORIBA等保持長期合作，其中HORIBA已代理15年。今天，我們將介紹HORIBA GR-300系列中的核心產品：晶圓背面冷卻系統壓力控制器GR-312。

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產品概述：HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統壓力控制器GR-312

HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統壓力控制器GR-312專為控制用于冷卻晶圓背面的氣體而設計。通過靜電卡盤系統，晶圓被安全固定到位。GR-312的穩定性和精確性使其成為控制晶圓冷卻系統中氦氣和氬氣流量的理想選擇。

HORIBA GR-312產品圖

核心技術參數解析：HORIBA GR-312

HORIBA GR-312的核心優點在于其壓力控制的穩定性和精確性。即使在壓差非常低的情況下，GR-312仍能使用精度壓電閥來控制壓力。該產品安裝了精度的壓力傳感器，能夠測量<1%F.S范圍內的出口壓力。此外，質量流量傳感器（可選）也可用于氣體流量監測，實現自診斷功能。

典型應用場景：HORIBA GR-312

HORIBA GR-312廣泛應用于半導體制造領域，尤其是在晶圓加工過程中。通過應用HORIBA STEC成熟的流體控制技術，GR-312能夠實現微小差壓控制，這對于精密半導體制造過程至關重要。此外，該產品符合RoHS標準，使用環保材料，確保對環境無害。

優勢亮點總結：HORIBA GR-312

HORIBA GR-312的優勢在于其精確的壓力控制和穩定性。它采用成熟的流體控制技術，確保在不同操作條件下的一致性能。通過添加氣體流量監測功能，GR-312不僅能夠監測流量，還能提供自診斷功能，進一步提高系統的可靠性。此外，符合RoHS標準意味著該產品在使用過程中不會對環境造成危害。

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